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CMP工藝介紹及用濾芯
CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化學(xué)機(jī)械拋光—是一個(gè)化學(xué)腐蝕和機(jī)械摩擦的結(jié)合。CMP技術(shù)所采用的設(shè)備及消耗品包括:拋光機(jī)、拋光漿料、拋光墊、后CMP清洗設(shè)備、拋光終點(diǎn)檢測(cè)及工藝控制設(shè)備、廢物處理和檢測(cè)設(shè)備等。拋光機(jī)、拋光漿料和拋光墊是CMP工藝的3大關(guān)鍵要素,其性能和相互匹配決定CMP能達(dá)到的表面平整水平。其工藝過程中拋光漿料顆??刂圃?.5μm以內(nèi),恒水公司提供的系列過濾器及折疊濾芯可提供您有效的過濾解決方案。
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微電子半導(dǎo)體過濾
恒水公司提供的PTFE膜具有較強(qiáng)的疏水性,可以應(yīng)用于很多領(lǐng)域,尤其是微電子和半導(dǎo)體行業(yè)。隨著微電子半導(dǎo)體過濾、...
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濾芯流量
折疊濾芯的流量跟很多因素有關(guān) 1、濾芯的長(zhǎng)度,折疊濾芯的長(zhǎng)度有2.5-40英寸,還有非標(biāo)規(guī)格,常規(guī)10寸的P...
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PP濾芯
PP濾芯通常用作液體的預(yù)過熱、澄清過濾及終端過濾。是以超細(xì)聚丙烯纖維膜為過濾介質(zhì),低壓差,高通量,良好的過濾精...
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微孔濾芯
微孔濾芯材質(zhì)有聚丙烯(PP)、聚醚砜(PES)、聚四氟乙烯(PTFE)、尼龍膜(N66)、聚偏氟乙烯膜(PVD...
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研磨拋光液過濾
研磨拋光液可分為研磨液和拋光液。一般研磨液用于粗磨,拋光液用于精密磨削。半導(dǎo)體行業(yè)CMP工藝對(duì)拋光液雜質(zhì)要求苛...
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