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CMP過濾

CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化學機械拋光—是一個化學腐蝕和機械摩擦的結合。CMP技術所采用的設備及消耗品包括：拋光機、拋光漿料、拋光墊、后CMP清洗設備、拋光終點檢測及工藝控制設備、廢物處理和檢測設備等。拋光機、拋光漿料和拋光墊是CMP工藝的3大關鍵要素，其性能和相互匹配決定CMP能達到的表面平整水平。其工藝過程中拋光漿料顆粒控制在0.5μm以內(nèi)，恒水公司提供的系列過濾器及折疊濾芯可提供您有效的過濾解決方案。

主要特點

非對稱膜、高納污量
高通量、高泡點、高除菌
高親水性、易于水潤濕測試
絕對孔徑確保有效過濾
每支濾芯通過完整性檢測
廣泛的化學相容性

0571-87022016

詳細信息在線留言

材料結構	操作條件	絕對過濾精度(um)
濾材: 進口非對稱聚醚砜膜內(nèi)芯: 聚丙烯外罩: 聚丙烯端蓋: 聚丙烯墊片/O型圈: 硅橡膠、三元乙丙、氟橡膠、包四氟密封技術: 熱熔焊接	工作溫度：≤80℃ 可耐最大壓差：4 bar (21℃)／2.4bar (80℃) 滅菌方法：121℃/30min蒸汽滅菌	0.05、0.10、0.22、0.45、0.65、0.80、1.20 有效過濾面積 ≥0.65 m2/10〞
生物安全性	濾芯尺寸	完整性測試
內(nèi)毒素：≤0.25EU/ml 溶出物：≤30mg/10〞	外徑: 68mm 長度: 5〞、10 〞、20 〞、30〞、40〞	起泡點測試（純水） 0.10um≥4.0bar 0.22um≥3.4bar 0.45um≥2.3bar
應用領域
電子行業(yè)：超純水制備終端過濾、半導體濕設備終端過濾、水性油墨終端過濾、電子試劑終端過濾。制藥行業(yè)：注射用水、大輸液（LVP）、小針劑(SVP)、凍干粉針、生物制品、眼藥水、抗生素等除菌過濾。食品行業(yè)：純生啤酒、葡萄酒、純水、礦泉水等除菌過濾。

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